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瑞士VAT閥快速關閉/梁式止動閥快速關閉/梁式止動閥一類特殊的保護閥，在發(fā)生泄漏時，可以防止不受控制的壓力上升或污染的氣體流入工藝區(qū)。擋束閥允許快速中斷加速器系...
瑞士VAT閥22.0 隔膜閥22.0 隔膜閥氣體和液體的多功能解決方案22.0 隔膜閥基于隔膜原理，具有高導電性，機械部件與介質隔離。它配有耐用的氟橡膠隔膜，可...
瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥21.1 氣體計量閥真空室的受控、可再現氣流引入
瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥滿足超高真空要求
瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠工藝。該系列有角度...
瑞士VAT閥VAT 24.5 內聯(lián)閥角閥的關鍵性能指標是可靠性與可變性。24.5 內聯(lián)閥系列結合了可靠性和可變性。該系列旨在針對高污染甚至輕微污染的氣流實現大尺...
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